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ZQJ-230D氦质谱检漏仪
本设备是主要用于对低温气瓶可能存在的泄露进行快速定位和定量测量，检测灵敏度高、速度快、实用范围广，并选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，为诸多检漏方法中的佼佼者。 本设备采用逆扩散方式检漏，被检工件接在分子泵出气口一端，基于不同气体逆扩散程度不同，漏入的氦气由分子泵出气口逆向扩散由泵腔进入进气口的质谱室内，从而被质谱仪捕获并测出。 主要技术参数： 1.最小可检漏率＜5×10-12Pa•m3/s ； 2.测量范围：5×10-12～1 Pa•m3/s； 3.允许检漏口最大压强：1000Pa； 4.响应时间＜1s；启动时间＜2min； 5.检漏口对He抽速：1.3l/s； |
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