氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示终气体，专门针对于有气密性要求的产品做密封性检验的质谱分析仪器。其基本原理是：采集被检件中的气体将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，用磁偏转分离原理检出氦离子，通过测量氦离子流来确定漏孔大小及位置。

主要技术指标

1.真空最小可检漏率：1 × 10-13Pa•m3/s

2.吸枪最小可检漏率：1 × 10-9Pa•m3/s

3.漏率显示范围：1 × 10-3—1× 10-13Pa•m3/s

4.启动时间：≤2min    

5.响应时间：≤1.0s     

6.检漏口的最高压力：

7.粗检:1500 Pa;  中检:200 Pa;  精检:40 Pa

8.前级泵抽速：4L/s

9. 电源要求：220V ，50Hz ，单相，20A

10.工作环境：5-35℃

11.相对湿度：≤80%

12.外形尺寸：590(W)×600(D)×900(H)

13.重量：65kg

14.通讯：RS-232/485   

15.检漏口规格：KF25

16.输入/输出接口：数字和模拟 I/O

17.显示方式：液晶触摸屏显示

18.显示界面：曲线图、数值显示

19.顶点功率：1000W

20.显示单位：Pa ·m3/s  、mbar ·l/s 、atm ·cc/s

21.对氦抽速：3. 1L/S

22.检漏介质：He3 、He4

性能特点：

1. 进口分子泵   

2.进口机械泵（可选配）

3.定制检漏仪专用电磁阀

4. 内置标准漏孔   

5.进口放大器    

6.采用质谱专用模块

7.铱丝（外涂氧化钇）离子源     

8.液晶触摸彩屏